真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。結構緊湊,泵的轉數較高,一般可與電動機直聯,無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
真空度低,這不僅是因為受到結構上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液,極限壓強只能達到2000~4000Pa。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。蒸發(fā)離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空泵。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。水環(huán)式真空泵初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、及食品等許多工業(yè)部門。隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,